超声波干式除尘机
应用规模
适用于电池涂布、半导体器件和玻璃基板的除尘。
装备优势
干式非接触除尘的方式,阻止污染或损伤质料外貌
超声波除尘头无需维护,只需维护风机及替换滤芯
相比传统非接触式风刀除尘,能去除6um以下尘粒
科学设计的关闭循环系统,不会污染清洁室
主要参数
腔体压力
4-5KPa
负压口压力
-4~-1KPa
事情距离
5mm以内,1.5mm最佳
使用情形
万级以下干燥无尘车间
功率
7.5KW/11.5KW
电源
380V,50/60HZ
处置赏罚风量
>600m?/h
过滤效率
99%,0.3um精度
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